沈阳仪表科学研究院
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传感器国家工程研究中心是1995年国家计委以计科技【1995】1779号文批准成立的43国家工程中心之一，主要从事MEMS技术、硅微芯片及力、热、磁传感器、传感器工程化技术的研究。中心建立在沈阳仪器仪表工艺研究所。该所始建于1961年，是科研院所。现隶属中国机械装备（集团）公司。 传感器国家工程研究中心投资总额度为美元450万、内配资金2133万，用于基本建设和重大型关键设备的采购。 目前，中心共有人员160多人，实验室面积8931平方米，主要工艺装备163台、实验室仪器396台。至今为止共完成“七．五”、“八．五”、“九．五”国家科技攻关及其它科研和新产品项目133余项，获国家、部、省、市奖励40余项。成立以来一直承担国家科技攻关项目及相关军工项目的研究开发工作。